Fabrication

  • E beam evaporator

  • PECVD

  • Thermal evapoerator

  • ICP etcher

  • Physical etcher

  • Deep RIE

  • Mask aligner 1

  • Mask aligner 2

  • Spin coator

  • RTA 상압

  • RTA 진공

  • Furnace 상압

  • Furnace 진공

  • Alpha step

  • OM

  • Wet station

  • Acid station

  • Plasma cleaner

  • DI water system